L'effet de la gravure sur microstructures métalliques

Le processus d'application des couches minces métalliques est une partie importante de l'industrie des semi-conducteurs et le magnétisme . Les deux principaux types de traitement comprennent la croissance de films métalliques et la gravure des films métalliques . Croissance implique le dépôt d'un matériau métallique par un procédé tel que pulvérisation cathodique ou évaporation . La gravure est le processus inverse et consiste à enlever la matière sélective par l'exposition à un produit chimique ou par bombardement de la matière avec les molécules de gaz ionisées . Gravure

gravure est l'élimination sélective des matières . Il ya deux principales façons de graver matériau . Une gravure chimique est souvent utilisée pour éliminer sélectivement un certain matériau , tout en laissant d'autres zones de l'échantillon intact . Un exemple est l'utilisation d'acide fluorhydrique pour éliminer sélectivement le dioxyde de silicium . Une deuxième façon de graver consiste à placer l'échantillon dans une chambre à vide puis introduire un gaz, tel que l'argon . L' argon est ensuite ionisé par un jeu d'électrodes et accéléré contre l'échantillon . Les ions bombardent l'échantillon et supprimer matériau . Comme toutes les pièces de l'échantillon sont bombardés , ce n'est pas une gravure sélective , et toutes les surfaces exposées aura matériel enlevé .
Réduction de l'épaisseur des métaux

Exposer un objet métallique échantillon à une gravure réduira l'épaisseur de l'échantillon. Ceci est souvent le résultat souhaité de la gravure . Afin d'éliminer une certaine quantité de matériau , le métal doit être exposée à l' attaque chimique pour une période de temps déterminée , par exemple, une minute. L'épaisseur doit ensuite être mesurée afin d'obtenir une vitesse de gravure , comme 10 nanomètres par seconde .

Film rugosité

Bien que l'objectif d'une gravure est de réduire l'épaisseur du métal , cela revient normalement à un prix . La rugosité du film métallique peut être une quantité très importante et est généralement mesurée à l'aide d'un dispositif appelé un microscope à force atomique. En général, plus un matériau est gravé , plus la rugosité de film métallique devient .

Grains Taille

films métalliques sont constitués de plusieurs millions de grains minuscules qui sont généralement en la gamme de taille de 5 à 100 nanomètres. Comme les films métalliques sont gravées , la taille moyenne de la taille des grains peut être réduite, mais cela est très dépendante du type d' attaque , le temps de gravure et graver puissance s'il s'agit d'une gravure ionique .