Placez le substrat de silicium sur le mandrin spin- coater . Sélectionner une vitesse de rotation de 3000 rpm et un temps de centrifugation de 2 minutes. Placez quelques gouttes de S1813 sur le substrat et commencer la filature .
2
Tournez sur la plaque chauffante et le mettre à 110 degrés Celsius ( 230 degrés Fahrenheit ) . Attendez jusqu'à ce que la plaque chauffante a atteint la température de consigne . Placer l'échantillon sur la plaque chauffante pendant 2 minutes. Retirer l'échantillon et le laisser refroidir .
3
Placer l'échantillon dans le dispositif d'alignement de masque , et placer le masque avec la piste circulaire dans le dispositif d'alignement de masque dessus de l'échantillon . Exposer l'échantillon à la lumière ultraviolette pendant 2 secondes .
4
Placer l'échantillon dans le développeur S1813 pendant 30 secondes . Le développeur supprime les parties exposées de l'échantillon , la formation d'une piste circulaire que matériau supraconducteur peut être déposé en .
5
Placer l'échantillon dans l'évaporateur , et de placer quelques pastilles de niobium dans le creuset d'évaporation . On évapore à 100 nanomètres de niobium . Retirer l'échantillon à partir de la chambre d'évaporation . Placer l'échantillon dans de l'acétone . Acétone supprime toutes les parties de la résine photosensible laissant le supraconducteur piste circulaire . L'échantillon est terminée . Le niobium est supraconducteur en dessous de 9,3 Kelvin .