Les atomes sont constitués d'un noyau chargé positivement entouré d'un nuage d'électrons chargés négativement . Parfois, les atomes peuvent gagner ou perdre des électrons , ce qui conduit à les acquérir une charge nette positive ou négative . Un atome avec une charge nette est connu comme un ion . Le plasma est un nuage d' ions , et ceux-ci peuvent avoir un certain nombre d'utilisations dans l'industrie du traitement de semi-conducteur. Un plasma peut être produite à l'intérieur d'une chambre à vide remplie d'argon en utilisant une alimentation qui génère la fréquence radio (RF) radiation.Things Vous devez
chambre à vide RF avec régulateur de débit massique Argon
pompe rotative de
pompe turbo
alimentation RF
