ouvrir un système de pulvérisation . Retirez la pulvérisation pistolet bouclier et dévisser l'anneau qui tient votre cible de pulvérisation en place . Placez la cible d'oxyde métallique sur le pistolet de pulvérisation et visser la bague de cible avec un tournevis de précision . Remplacer la pulvérisation pistolet bouclier . Placer le substrat de matière plastique dans le porte- substrat. Fermez le système de pulvérisation .
2
La pompe du système de pulvérisation jusqu'à une pression adéquate de paramétrage comme 10 ^ -6 millibars . Assurez-vous que le volet est fermé de sorte que le substrat n'est pas exposé à un dépôt jusqu'à ce que nécessaire . Présentez- argon de gaz de l'installation dans la chambre jusqu'à une pression d'environ 5 millibars est atteint .
3
allumer la radio alimentation de fréquence . Attendez jusqu'à ce qu'un plasma visible peut être vu dans la chambre de pulvérisation . Ouvrez le volet . Le substrat en matière plastique est maintenant exposée à un dépôt de molécules d'oxyde de métal . Fermez l'obturateur lorsque l'épaisseur désirée a été obtenue .