Comment faire pour supprimer Plasma Etch Polymer

Quand un chimiste ou un électricien veut modifier les propriétés chimiques et physiques de la surface d'une plaquette de circuit intégré , il est connu que le traitement de plasma . Une forme de ce qu'on appelle un traitement de gravure par plasma , qui utilise une décharge luminescente (appelé plasma ) à partir d'un gaz spécifique . La décharge est libérée sous forme d'impulsions dans un train à grande vitesse directement sur un circuit de l'échantillon . La source de plasma , connu sous le nom des espèces de gravure , peut prendre l'une des deux caractéristiques - charge, qui sont classés sous forme d'ions , ou neutre , qui est fait d'atomes et radicaux . Comme le début du traitement d'attaque chimique , la décharge étant transmis en continu sur le circuit créera résidu de gravure volatil par suite de la réaction chimique entre le matériau gravé et les espèces de gravure créés par le plasma . Les propriétés physiques et chimiques du circuit sont modifiés par la suite que les atomes à partir du courant de plasma se fixent à la surface ou pénètrent . Selon le gaz qui est utilisé pour le flux de plasma , polymère de gravure par plasma peut se former comme un résidu après les process.Things Vous devez
circuits intégrés plaquettes
gravure plasma décapant de polymère ( PRX- 127 ) Photos gants de protection robustes
masque chirurgical
lunettes ou des lunettes
dénuder réservoirs
déminéralisée ( DI ) le réservoir d'eau de rinçage
spin sèche ou spin - rinçage sèche protection
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Le 1 polymère de gravure

de plasma sera probablement formé après l'utilisation de traitement au plasma de gravure avec des gaz fluorés à base tels que hydrotrifluoride de carbone et octafluoropropane . Ces gaz créent des composés non saturés dans le plasma qui sont ensuite transférés à des plaquettes de circuits intégrés. Ceux-ci doivent être enlevés pour que le traitement ultérieur de plasma pour continuer.
2 Prenez une extrême prudence dans les produits chimiques dangereux .

Gravure plasma décapant de polymère , connu sous le nom PRX- 127 , est un composé chimique composé d'éléments d'éther , sulfoxyde et de l'hydroxyde , et est extrêmement dangereux à respirer ou tactile . Il est recommandé avant d'utiliser ce produit , gants , lunettes et masque doivent être portés. Un processus d'immersion humide banc est l'un des moyens les plus sûrs pour traiter ce composé , et nécessite très peu d'interaction physique.
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Remplir deux cuves de décapage qui sont conçus spécifiquement pour un banc humide procédé avec la solution PRX- 127 et porter à une température de 70 à 90 degrés Celsius. Placer les tranches de circuits touchés avec précaution dans l'un des réservoirs à l'aide de gants de protection . Les plaquettes doivent rester dans la solution pendant au moins cinq minutes, mais pas plus de 20 minutes pour un effet optimal. Une méthode d'agitation à base sonore mécanique ou est recommandée pendant le premier bain .
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Transférer les tranches de la première cuve de décapage pour la deuxième fois le cycle de bain est complète , et tremper les tranches de nouveau pour cinq 20 minutes sans agitation supplémentaire. Cette deuxième salle de bain sera enlever des couches existantes de polymère sous le résidu sur la surface de la plaquette .
5 eau déminéralisée est de l'eau complètement pure , sans autres minéraux .

Retirez les tranches de la solution PRX- 127 et de les transférer à un troisième réservoir rempli de SVC- 300 rinçage , une solution qui est utilisé principalement pour l'enlèvement de la peinture . C'est tout à fait sûr à utiliser car il est non toxique et non inflammable et ne pas endommager les plaquettes . Les plaquettes doivent rester dans cette solution pendant deux à trois minutes . Transférer les tranches dans une solution finale - eau déminéralisée - l'intérieur d'une cuve de rinçage pour six à huit cycles et ensuite utiliser un essorage ou essorage - rinçage pour éliminer toute trace de la solution . Les plaquettes doivent être totalement exempte de polymères , et sont désormais sûrs d'être utilisé à nouveau pour de plus amples traitement au plasma gravé .